见倪老想去参观尼康和佳能的光刻机生产线,苏业豪这时候点点头,告诉说:

        “行吧,如果以客户身份登门,应该没什么问题。我从资料上看见过,现在光刻机卡在193纳米的技术门槛上,如果能押对下一代技术,是不是有希望弯道超车?”

        席间喝了点原住民自酿的红枣米酒,这玩意儿喝起来很舒服,可一杯接一杯没个准数,一不小心就多了,也挺上头。

        倪老面色微红,听完笑着开口:

        “理论上是这样,不过现在谁都不清楚出路究竟在哪。”

        “我看过一些相关的论文,目前市场上主流的研发思路,都是在157nm的干式光刻技术路径上,佳能、尼康都在往这方面尝试。”

        “另外,还有一项新的理论挺有意思,一位华裔越南科学家叫做林宝坚,他提出用水作为曝光介质,光源波长还是用原来的193nm,但通过水的折射,让进入光阻的波长缩小到134nm,起名叫做浸没式,我在杂志上看见过。”

        “点子蛮有意思,只是一旦往这方面尝试,意味着要把以前的技术路线推翻,代价实在太大……”

        苏业豪同样喝了不少米酒,听到“浸没式”三个字时候,只觉得特别耳熟。

        既然能够让他觉得耳熟,实际上已经足够说明许多问题,顿时对倪老问道:“你觉得这项技术,研究前景怎么样?走常规路线,想在一定程度上掌握光刻机话语权,估计是行不通了,这种时候剑走偏锋,或许可以闯出一条新路呢。”

        “……我没怎么了解过,假如小苏总想知道的话,那我回去查查,过几天再给你答复?”

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