最后一关是最难的,它需要极致的机械精度,在国内根本找不到这样的设备生产。
陈耀带领团队费尽了周折,失败了多次,有队员甚至感到沮丧,差点退出。
情况比预想中的还要艰难,这种机器不像是人类应该造出来的。
那段时间,是陈耀最繁忙的日子,像个陀螺一样在实验室、工厂,学院转来转去。
一边要培养人才,一边要参与到项目的研发,设计,测试,甚至亲自上阵在生产一线当工人。
好在,最艰难时期终于过去!
陈耀和微观精龙团队成功突破最后一道难关!
到此,光刻机所有的核心零部件统统实现国产化!
这是个了不起的成就!
接下来就是组装,团队找来了衷芯国际一起完成最后的组装。
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